日本人還沒封死的光刻膠 我們已經(jīng)到了火燒眉毛了

7月23日開始，日本針對(duì)尖端半導(dǎo)體制造設(shè)備的出口管制措施已經(jīng)正式開始生效。此次生效的管制產(chǎn)品總共有六大類23種設(shè)備，這些設(shè)備都被納入到出口限制名單中，基本上是覆蓋了芯片光刻和檢測(cè)的各種環(huán)節(jié)中。如果各企業(yè)想要讓這些設(shè)備出口，就必須向日本政府申請(qǐng)出口許可證，只有獲得批準(zhǔn)才能夠出口到一些指定的國家和地區(qū)。

此次日本做出的出口限制，主要都是針對(duì)一些設(shè)備而言，并沒有對(duì)半導(dǎo)體材料方面做出一些限制，此前大家一直擔(dān)心的光刻膠并沒有在此次出口管制措施中進(jìn)入名單。光刻膠作為光刻工藝當(dāng)中非常重要的材料之一，它的純度和質(zhì)量都直接決定了芯片的良品率。雖然日本人并沒有卡死光片膠的出口方面，但是我們也應(yīng)該加快光刻設(shè)備和材料的國產(chǎn)化研制。

不管是哪一個(gè)國家的半導(dǎo)體行業(yè)，光刻膠一旦被人斷供，那么可以說是非常要命的事情。比如2019年日本與韓國翻臉，日本停止向韓國出口光刻膠，結(jié)果三星半導(dǎo)體的第一代三納米制程芯片良品率僅有10到20%左右。導(dǎo)致這種情況的最主要原因就是三星的光刻膠材料純度不夠，不過這一點(diǎn)也把韓國人給逼急了。2022年的12月份，三星就宣布了韓國東進(jìn)半導(dǎo)體研發(fā)的euv光刻膠已經(jīng)成功運(yùn)用。

之所以光刻膠會(huì)成為卡脖子的關(guān)鍵因素，主要是高端光刻膠需要嚴(yán)格的控制金屬雜質(zhì)含量，想要做到這一點(diǎn)是十分困難的，國內(nèi)的精細(xì)化工方面嚴(yán)重不足，所做出的金屬材料雜質(zhì)含量也比要求大了很多級(jí)別。除此之外，高端光刻膠生產(chǎn)的時(shí)候還需要使用反應(yīng)釜，這種材料是需要鍍膜的，國內(nèi)的相關(guān)工藝水平比較低，想要做這一些設(shè)備就需要從國外進(jìn)口。