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三星電子目前正在進行智能傳感系統(tǒng)的開發(fā),目的是為了將產(chǎn)量提高,并且將半導(dǎo)體工廠的運營方式進一步改變。據(jù)報道三星計劃在2030年使芯片工廠完全實現(xiàn)自動化,再也不需要人工進行操作。
三星電子所作出的最終目標(biāo)是工廠的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)施到2030年能夠?qū)崿F(xiàn)完全無人值守。想要實現(xiàn)這一目標(biāo)就需要進行大量數(shù)據(jù)管理,并且自動優(yōu)化設(shè)備性能的系統(tǒng)的開發(fā)。在該計劃當(dāng)中最為重要的一個組成部分是智能傳感系統(tǒng)。智能傳感系統(tǒng)的開發(fā)成功將會在全自動晶圓廠實現(xiàn)智能化方面,起到非常重要的作用。目前三星電子向智能傳感器等項目方面的投資已經(jīng)達到數(shù)千萬韓元。三星電子目前所研發(fā)的智能傳感器目的是進行精元上等離子體的均勻性的測量。據(jù)報道這一點非常重要,因為等離子體的均勻性在很大程度上都會影響半導(dǎo)體制造中的沉積、清潔以及蝕刻等工藝的結(jié)果。
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