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1、4、拋光后自動清洗:除去切、磨、拋的沾污。
2、 7、離子注入后的清洗:除去光刻膠,SiO2層。
3、 10、附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污物。
本文關于硅片清洗機的簡介就講解完畢,希望對大家有所幫助。
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