繞過EUV技術佳能著手銷售5nm芯片生產(chǎn)設

2023-10-15 18:46:47 編輯：聶慶平來源：

導讀光刻機大廠佳能近期宣布已經(jīng)開始銷售基于納米印刷技術的芯片生產(chǎn)設備，該設備采用不同于復雜光刻技術的方案，可以制造5納米芯片。這套生產(chǎn)...

光刻機大廠佳能近期宣布已經(jīng)開始銷售基于“納米印刷”技術的芯片生產(chǎn)設備，該設備采用不同于復雜光刻技術的方案，可以制造5納米芯片。這套生產(chǎn)設備的工作原理與ASML的光刻機是不一樣的，其并不利用光學圖像投影的原理，將集成電路的微觀結構轉移到硅晶圓，則是更類似于印刷技術，直接通過壓印形成圖案。

與傳統(tǒng)的EUV光刻技術相比，這項技術能夠大大的降低耗能，并且可以降低設備成本。雖然這項技術的優(yōu)點很明顯，但是現(xiàn)階段導入量產(chǎn)上仍然有很多問題需要繼續(xù)解決，包括更容易因為空氣當中的細微塵埃影響而形成瑕疵。本次佳能發(fā)布的設備可以應用于最小14平方毫米的硅晶圓，從而能夠生產(chǎn)出相當于5納米工藝的芯片。