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東京——東北大學(xué)位于日本東北部,是該國最古老的國立大學(xué)之一,以其“研究第一”和“開放政策”的著名格言——它是日本第一所國立大學(xué)接受女學(xué)生——長期以來一直受到高度重視。但在半導(dǎo)體研究前沿領(lǐng)域日益激烈的全球競(jìng)爭(zhēng)中,它正在引起新的關(guān)注。
東北大學(xué)自旋電子學(xué)研究網(wǎng)絡(luò)中心助理教授 Nguyen Thi Van Anh 興奮地說:“我無法忘記第一次接觸半導(dǎo)體晶圓時(shí)的感動(dòng)。”
Anh 在她的祖國越南進(jìn)入大學(xué),從事半導(dǎo)體研究。圓盤狀的硅片通常是任何從事半導(dǎo)體生產(chǎn)的人都見過的東西。但她在 2018 年就職于日本大學(xué)時(shí)才看到了一個(gè)真實(shí)的人,此時(shí)距她開始學(xué)習(xí)已有 15 年多了。
東北大學(xué)被認(rèn)為是世界上唯一擁有專門針對(duì)大尺寸 300 毫米晶圓(按直徑測(cè)量)的研究設(shè)施的大學(xué),這是目前領(lǐng)先半導(dǎo)體制造商的標(biāo)準(zhǔn)。半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中不允許有一絲灰塵,因此,該設(shè)施被建造為無塵室,內(nèi)部的所有空氣都需要徹底凈化。
總面積比足球場(chǎng)還大的無塵室內(nèi),配備了尖端設(shè)備。該設(shè)施用于與企業(yè)的聯(lián)合項(xiàng)目,年收入約為 10 億日元(750 萬美元)。它以日本其他大學(xué)所沒有的方式運(yùn)作。
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