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大家好,mems傳感器,關(guān)于mems傳感器的簡介很多人還不知道,現(xiàn)在讓我們一起來看看吧!
1、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)基本上是指尺寸在幾厘米以下乃至更小的小型裝置,是一個獨立的智能系統(tǒng),主要由傳感順、作動器(執(zhí)行器)和微能源三大部分組成。
2、MEMS技術(shù)的出現(xiàn)開辟了一個全新的領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)。
3、它們具有許多傳統(tǒng)傳感器無法比擬的優(yōu)點,因此在航空、航天、汽車、生物醫(yī)學(xué)、環(huán)境監(jiān)控和軍事等領(lǐng)域都有著十分廣闊的應(yīng)用前景。
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