射頻微電子（關于射頻微電子的簡介）

2022-08-01 23:30:06 編輯：勞月晶來源：

導讀大家好，射頻微電子，關于射頻微電子的簡介很多人還不知道，現(xiàn)在讓我們一起來看看吧！1、中國科學院微電子研究所射頻電源(RFGenerator)課題

大家好，射頻微電子，關于射頻微電子的簡介很多人還不知道，現(xiàn)在讓我們一起來看看吧！

1、中國科學院微電子研究所射頻電源(RFGenerator)課題組從1984年開始研發(fā)電子管射頻電源(13.56MHz)。

2、1985年研制成功。

3、獲得“六五”攻關榮譽證書以及“FD-2反應離子刻蝕機與超精細刻蝕研究”項目二等獎。

本文關于射頻微電子的簡介就講解完畢，希望對大家有所幫助。

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