芯片光刻機(jī)是干什么用的光刻機(jī)是干什么用的

2022-06-18 06:07:20 編輯：馮風(fēng)穎來源：

導(dǎo)讀大家好，關(guān)關(guān)來為大家解答以上問題。芯片光刻機(jī)是干什么用的，光刻機(jī)是干什么用的這個(gè)很多人還不知道，現(xiàn)在讓我們一起來看看吧！1、掩模對(duì)

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1、掩模對(duì)準(zhǔn)器又稱掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)、曝光系統(tǒng)、光刻系統(tǒng)等。

2、常用的掩模對(duì)準(zhǔn)器是掩模對(duì)準(zhǔn)光刻，因此被稱為掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。

3、一般的光刻工藝都要經(jīng)過硅片表面清洗干燥、打底、旋涂光刻膠、軟烘烤、對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘烤、顯影、硬烘烤、刻蝕等工序。

4、光刻是指用光制作圖形(工藝)；將硅片表面的膠水抹平，然后將掩模上的圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠上的過程，將器件或電路結(jié)構(gòu)暫時(shí)“復(fù)制”到硅片上。

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