MEMS微型減速電機(jī)一氧化碳傳感器

佛羅里達(dá)州克利爾沃特 -記錄意味著被打破;冠軍被廢。了。在報(bào)告了所謂的“世界上最小的直流無刷電機(jī)”(見DN5-5-97)之后的短短幾個月，隨之而來的是更小的電機(jī)。該無刷直流電機(jī)直徑僅為1.9 mm，長5.5 mm，提供0.5 V直流標(biāo)稱電壓，空載電流為73 mA?？蛰d轉(zhuǎn)速的額定轉(zhuǎn)速為150,000 rpm，失速轉(zhuǎn)矩為7μNm。微電機(jī)由德國Schonaich的姐妹公司Faulhaber GmbH和其研究合作伙伴IMM(德國Mainz-Hechtsheim)合作開發(fā)，微電機(jī)采用特殊制造的軸承，稀土磁體系統(tǒng)，專有潤滑劑。

ADM多倫多的設(shè)計(jì)與制造提供了一個獨(dú)一無二的機(jī)會，可以將供應(yīng)商與尋求最新創(chuàng)新，產(chǎn)品和解決方案的買家聯(lián)系起來。用安大略省蓬勃發(fā)展的制造業(yè)的銷售線索填補(bǔ)您的銷售渠道。設(shè)計(jì)與制造展，2019年6月6日至6日，多倫多會議中心。

由LIGA技術(shù)生產(chǎn)的行星齒輪箱根據(jù)所選比率(3.6：1至47：1)僅增加2-4 mm的電機(jī)長度。基于深X射線光刻和電鍍，LIGA允許模制的微距齒輪具有非常高的縱橫比。

“基于比較半導(dǎo)體的表面和體積加工技術(shù)，”Micro Mo高級研究與規(guī)劃副總裁Stephen O'Neil說，“更適合于低縱橫比，低輸出功率或承重的二維器件能力“。

減速機(jī)編號：最大輸出扭矩高達(dá)300μN間歇性和150μNm連續(xù);根據(jù)比例，效率從50%到80%。目標(biāo)和beta測試應(yīng)用：醫(yī)療診斷，治療和手術(shù)設(shè)備;細(xì)胞生物學(xué)研究工具;化學(xué)分析儀器;微記錄和數(shù)據(jù)存儲設(shè)備;偵察和安全設(shè)備;和泵/分配系統(tǒng)。

快速打印頭

瑞士納沙泰爾 -高密度微電磁鐵陣列構(gòu)成了每分鐘700頁的磁性印刷機(jī)的基礎(chǔ)。它們不僅提高了打印速度，而且這些硅磁體陣列的分辨率提高到每英寸480點(diǎn)(dpi) - 是由單獨(dú)制造的電磁鐵制成的傳統(tǒng)磁體陣列的兩倍。

由CSEM SA(Center Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA)開發(fā)，每個電磁鐵由圍繞磁路的扁平多匝線圈組成。磁路寫入極和大的低磁阻背板形成電路。寫入極集中并引導(dǎo)由線圈產(chǎn)生的磁通量，而背板提供磁通返回路徑。由于每個芯片的器件數(shù)量太高而無法單獨(dú)尋址每個電感線圈，因此片上集成二極管矩陣依次尋址線圈。

批量制造降低了成本。從硅襯底開始：1)標(biāo)準(zhǔn)微電子工藝構(gòu)建尋址電子器件;2)微電化學(xué)沉積鋪設(shè)金線圈;3)硅塊體微機(jī)械加工，然后電沉積FeNi背板和寫入極，形成磁路。

高速打印頭目前正在法國貝爾福的Nipson Printing Systems的CSEM SA生產(chǎn)。

管內(nèi)微檢機(jī)

日本愛知- 由DENSO研究實(shí)驗(yàn)室開發(fā)的這種微型“管道履帶”包括渦流傳感器，多層執(zhí)行器，反質(zhì)量和三個夾具。元件位于厚度為60英寸，厚度為0.084克的外殼中。外殼結(jié)構(gòu)采用與集成電路制造相同的工藝：精密加工，電鍍和蝕刻。

每個致動器層包括壓電元件和彈性板，布置成雙金屬。因?yàn)閴弘娫臍んw積是恒定的，所以壓電元件在施加電壓的方向上膨脹，但在垂直方向上收縮。這使彈性板彎曲，放大位移。層數(shù)決定了執(zhí)行器的力。

致動器膨脹/收縮使檢查機(jī)器在管道內(nèi)向前和向后移動。在膨脹過程中，夾具和管子之間的靜摩擦力超過了反質(zhì)量的慣性力;慣性力克服收縮過程中的靜摩擦力。

微型檢測機(jī)能夠檢測寬度約為10毫米的裂縫，可在空氣和液體中運(yùn)行。

旋轉(zhuǎn)微鏡

達(dá)拉斯，德克薩斯州 -視頻現(xiàn)在跟隨音頻的腳步，通過數(shù)字化以便于存儲和傳輸。數(shù)字光處理(DLP)支持?jǐn)?shù)字視頻格式的數(shù)字顯示，從而消除了數(shù)字到模擬處理步驟。它的工作原理是將一束光解釋為一種彩色模擬圖像。

數(shù)字微鏡器件(DMD)使用電信號移動16微米的方形

鋁鏡以反射光。DMD陣列可以產(chǎn)生黑色或白色或帶有

濾光片，顏色顯示作為數(shù)字光處理系統(tǒng)的一部分。

DLP的關(guān)鍵是來自德州儀器的MEMS器件，稱為DMD(數(shù)字微鏡器件)燈開關(guān)。每個DMD具有一個16微米米見方的鋁鏡，其可以在兩個方向中的一個反射光，取決于下面的CMOS SRAM存儲器單元的狀態(tài)。當(dāng)存儲器單元處于(1)狀態(tài)時，鏡子旋轉(zhuǎn)到+10度;當(dāng)單元格處于(0)狀態(tài)時，鏡子旋轉(zhuǎn)到-10度。

鏡子剛性連接到下面的軛。軛通過兩個機(jī)械柔性扭轉(zhuǎn)鉸鏈連接到附接到基板的支撐柱。鏡子和軛的尋址電極連接到存儲器單元的互補(bǔ)側(cè)。

在存儲器單元和軛和鏡子之間產(chǎn)生靜電場，產(chǎn)生靜電轉(zhuǎn)矩。該扭矩抵抗鉸鏈的恢復(fù)扭矩以旋轉(zhuǎn)鏡子。鏡子和軛架旋轉(zhuǎn)，直到軛架抵靠與軛架處于相同電位的機(jī)械止動件。

通過將DMD與光源和投影光學(xué)器件組合，鏡子將光反射到投影透鏡的光瞳中或從投影透鏡的光瞳中反射出來。因此，(1)狀態(tài)看起來很亮，而(0)狀態(tài)看起來很暗。入射光的二進(jìn)制脈沖寬度調(diào)制導(dǎo)致灰度陰影。固定或旋轉(zhuǎn)濾色器與一個，兩個或三個DMD芯片組合產(chǎn)生顏色。

亞利桑那州鳳凰城 -使用基于硅的技術(shù)檢測氣體具有許多優(yōu)點(diǎn)：傳感器比傳統(tǒng)設(shè)備小，性能穩(wěn)定，設(shè)備成本更低。

硅微機(jī)械一氧化碳傳感器現(xiàn)在可從摩托羅拉獲得。應(yīng)用包括家庭火災(zāi)，煙霧和氣體警報(bào);工業(yè)監(jiān)測和維護(hù)系統(tǒng);和汽車排放和傳感。

摩托羅拉使用批量和表面微加工技術(shù)制造傳感器，這些技術(shù)獲得瑞士Microsens SA批準(zhǔn)，Bulk micromachining涉及單晶硅蝕刻。以這種方式開發(fā)的微機(jī)械結(jié)構(gòu)由硅晶體或硅上沉積或生長的層制成。表面微機(jī)械加工涉及在基板頂部沉積或生長層以構(gòu)建微機(jī)械裝置。

氧化錫薄膜可感知一氧化碳的濃度。加熱器位于薄膜下方，嵌入氧化硅層中。整個結(jié)構(gòu)基于硅體積微機(jī)械加工到2毫米。該基層降低了將結(jié)構(gòu)加熱到100至450℃工作溫度所需的熱質(zhì)量和功率。

摩托羅拉計(jì)劃為不同的氣體提供一系列化學(xué)傳感器。即將推出：甲烷傳感器和測量硫化氫的傳感器。

血壓傳感器

加利福尼亞州米爾皮塔斯- 醫(yī)療行業(yè)中MEMS產(chǎn)品的最大批量應(yīng)用是測量醫(yī)院重癥監(jiān)護(hù)病房中的患者血壓。

一種這樣的傳感器是來自EG&G IC傳感器的Model 1620一次性血壓傳感器。以下是它的工作原理：來自鹽水袋的液體通過管道進(jìn)入MEMS傳感器包裝，然后進(jìn)入患者的手臂。當(dāng)心臟跳動時，壓力波在流體路徑上向上移動并由傳感器檢測，傳感器將信息發(fā)送到監(jiān)視器。